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産総研　カーボンナノチューブの自由自在な設計を可能にし、3次元のデバイスを実現 (2008/05/15)

産総研究所のチームは、単層カーボンナノチューブを用いた集積3次元デバイスの実現に成功したと発表しました。

研究チームは、平成16年に独自に開発された水分添加CVD法を用いて高純度・超長尺の炭層ナノチューブを垂直方向に集合させたマクロ構造体を作り、このマクロ構造体を束ねて高密度化する技術を開発しナノチューブ固体を作ることには平成18年に既に成功していました。

今回、このようにして作り上げたフィルム状のマクロ構造体である「垂直配向CNTフィルム」を用いてウェエハーを作製し、通常のシリコンウエハーのようにレジストを用いた微細加工を施し任意の形状に加工することに成功しました。

これまで、様々なデバイスの設計が行われてきたカーボンナノチューブの応用分野ですが、任意な形状設計を施すことは不可能であったために実用には程遠いものばかりでした。今回の成果はカーボンナノチューブを用いたデバイス設計の実用化を予感させるもので、応用研究の急激な進展に期待がよせられています。

プレスリリース